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荏原精密機(jī)械
ABOUT US
質(zhì)量保證 | 貼心服務(wù) | 技術(shù)成熟
上海荏原精密機(jī)械有限公司隸屬于株式會社日本荏原制作所下設(shè)精密電子事業(yè)群，是一家以半導(dǎo)體制造設(shè)備為主的提供營銷、維修以及售后服務(wù)的外商獨資企業(yè)。
公司成立于1999年4月，注冊資本4.95億日元，位于上海浦東新區(qū)，業(yè)務(wù)范圍主要涵蓋真空泵、化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)、電鍍機(jī)、尾氣處理裝置等產(chǎn)品的銷售、售后服務(wù)、技術(shù)支持等。
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- 1999年
公司成立于
- 116家
全球子公司
- 50億元
注冊資本
產(chǎn)品中心
PRODUCT
一家以半導(dǎo)體制造設(shè)備為主的提供營銷、維修以及售后服務(wù)的外商獨資企業(yè)
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01 /EV-X干式真空泵由于工藝負(fù)荷和復(fù)雜性的增加，安裝在Subfab中的組件系統(tǒng)的數(shù)量也在增加。對體積更小、更能承擔(dān)高負(fù)荷的真空泵的需求與日俱增。 荏原專門應(yīng)對此部分市場需求，推出了干式真空泵EV-X型。滿足顧客對小型化、高負(fù)荷真空泵的要求。
覆蓋多種工藝流程
小型化設(shè)計、交貨期短
耐用性高、擁有總成本低廉
廣泛的荏原技術(shù)支援網(wǎng)絡(luò)
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02 /EV-M干式真空泵EV-M機(jī)型是專為重制程應(yīng)用而設(shè)計的羅茨泵，在半導(dǎo)體、液晶和光伏電池等有大量副產(chǎn)物的制程中有大量實績。EV-M掌握了抵抗重制程應(yīng)用和能源效率之間的平衡，以充分滿足客戶的需要，同時減少停機(jī)時間和降低運行成本。智能轉(zhuǎn)速控制功能，保證足夠的氣體吞吐量占地面積小能耗低，能效高鎳合金，鎳涂層等耐腐蝕型材料選配查看更多
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03 /EST干式真空泵EST機(jī)型基于荏原創(chuàng)新性的螺桿泵技術(shù)制造，擅長應(yīng)對重制程反應(yīng)產(chǎn)生的化學(xué)副產(chǎn)物。EST最適合粉狀、腐蝕性和可能需求一定高溫的應(yīng)用。鎳合金，鎳涂層等耐腐蝕型材料選配智能轉(zhuǎn)速控制功能，保證足夠的氣體吞吐量先進(jìn)的預(yù)警和報警數(shù)據(jù)存儲能力手動報警設(shè)置功能(可編程的LCD控制器)查看更多
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01 /F-REX300X化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備Model F-REX系列 本裝置是用于無塵室中對半導(dǎo)體晶元表面進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨的CMP設(shè)備。設(shè)備具備經(jīng)市場證明了的高度可靠以及優(yōu)越的過程處理性能,并能對各個客戶的特殊規(guī)格要求進(jìn)行靈活應(yīng)對。干進(jìn)干出有支持大批量生產(chǎn)的多樣輔助設(shè)備優(yōu)越的工藝性能靈活對應(yīng)各用戶的特殊規(guī)格要求查看更多
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02 /F-REX200M2化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備Model F-REX系列 本裝置是用于無塵室中對半導(dǎo)體晶元表面進(jìn)行化學(xué)機(jī)械研磨的CMP設(shè)備。設(shè)備具備經(jīng)市場證明了的高度可靠以及優(yōu)越的過程處理性能,并能對各個客戶的特殊規(guī)格要求進(jìn)行靈活應(yīng)對。干進(jìn)干出有支持大批量生產(chǎn)的多樣輔助設(shè)備優(yōu)越的工藝性能靈活對應(yīng)各用戶的特殊規(guī)格要求查看更多
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01 /G6系列尾氣處理設(shè)備G6機(jī)型能夠吸收大多數(shù)一般流程和清潔氣體，包括用于半導(dǎo)體、液晶面板、太陽能電池和led制造業(yè)務(wù)的全氟化碳。G6機(jī)型是在G5機(jī)型基礎(chǔ)上發(fā)展而來的，非常適合大流量高熱產(chǎn)氫氣體的使用。進(jìn)氣量是G5機(jī)型的3倍去除粉狀副產(chǎn)物，運行時間長低運行成本，能夠根據(jù)多種氣體按需調(diào)整燃料流量設(shè)計上方便維護(hù)，適用于高氣體負(fù)載比如大容量粉狀副產(chǎn)物捕集查看更多
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02 /G5系列尾氣處理設(shè)備EG5機(jī)型能適用于大部分制程的尾氣清理，包含半導(dǎo)體、液晶面板、太陽能電池和LED制造過程中的廢氣包括全氟化合物。該集成系統(tǒng)可自動高效去除粉狀副產(chǎn)物，從而實現(xiàn)維護(hù)和運行成本的降低。高效處理各種氣體,包括溫室氣體，全氟化合物等可根據(jù)氣體種類按需調(diào)節(jié)燃料流量，從而降低運行成本自動清洗、去除粉狀副產(chǎn)物，增長運行時間查看更多
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01 /OZW臭氧發(fā)生裝置OZW機(jī)型通過荏原獨特的清潔型高濃度臭氧水發(fā)生器和無塵泵，可以最大限度地減少脈動和顆粒，產(chǎn)生高濃度的純凈水。全新ozw溶解方式優(yōu)良的濃度穩(wěn)定性可選擇的供水方式查看更多
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